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紫外线灯的高端应用,晶圆信息擦除中紫外线灯的重要性

日期:2021-07-22 16:14:16点击:
       目前UV紫外线灯的高端应用应该数芯片制造领域了。芯片制造中不得不提的基础原材料是晶圆,在晶圆上经过光刻机光刻电路结构和蚀刻后,再经过切割、封装、测试成为芯片然后被应用各类电子产品和汽车工业中。在晶圆加工过程中还涉及到重要的一环就是晶圆信息光擦除。今天就由TANK007紫外线灯厂家为大伙介绍UV紫外线灯在晶圆信息擦除中的应用。
       紫外线灯用于擦除晶圆信息的原理
在晶圆上写入数据时,通常的做法是在栅极两端加上高电压并注入电荷。但由于注入栅极的电荷不具备穿透硅氧化膜,因此,必须借用特殊波长的紫外线给予电荷一定的能量来改变其现状。当浮置栅在UV紫外线灯发出的特定波长紫外线辐射时,由于栅极中的电荷吸收紫外线能量后能够赋予电荷变成足以穿透硅氧化膜的热电子并驱使热电荷流向基板和栅极从而具备擦除信息功能。在整个擦除过程中,目前只有借助特殊波长的紫外线灯来完成。由此可见晶圆信息擦除中紫外线灯的重要性。

       什么波段的紫外线灯、需要多强的紫外线强度才符合晶圆信息擦除?
众所周知,紫外线波长越短则紫外强度越大,因此要使晶圆栅极中的电子变为活跃的且有足够能量穿透硅氧化膜的电子就需要短波紫外线辐射。当然除了需要能够辐射出短波紫外线的紫外线灯具外还需要确保紫外线的剂量。晶圆信息擦除所需的精准紫外线波长为 253.7nm ,紫外强度在16000 μ W /cm²以上并保持 30 分钟至3小时不等的照射才能完成晶圆信息的擦除操作。
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